Проектирование и технология изготовления микроэлектромеханических устройств

Аннотация

Указаны направления развития теории и создания методики расчета микроэлектро-механических преобразователей (МЭМП) энергии, перечислены основные этапы технологического процесса производства статорных и роторных обмоток МЭМП на основе микролитографии.