Параметрические структурные схемы многослойного пьезоактюатора нано и микроперемещений при поперечном пьезоэффекте

Аннотация

Применение прецизионного пьезопривода нано и микроперемещений перспективно в оборудовании нанотехнологии, нанобиологии, микроэлектроники и астрономии. Пьезокерамический актюатор (пьезоактюатор) или пьезодвигатель такого пьезопривода работает на основе обратного пьезоэффекта. Перемещение достигается за счет деформации пьезоактюатора в диапазоне от единиц нанометров до десятков микрометров с точностью до десятых долей нанометров при приложении электрического напряжения. Диапазон перемещения пьезопривода до сотен микрометров увеличивается при использовании многослойного (составного) пьезоактюатора при поперечном пьезоэффекте. Полученные в статье структурнопараметрическая модель, параметрические структурные схемы и передаточные функции многослойного пьезоактюатора при поперечном пьезоэффекте позволяют описывать его динамические и статические свойства с учетом физических параметров, внешней нагрузки и электрического сопротивления согласующих цепей.